下载一种大口径光斑形貌拼接的测量装置及方法的技术资料

文档序号:40561929

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本发明涉及一种大口径光斑形貌拼接的测量装置及方法,该装置包括:分光镜:设于待测激光器之后,用于将待测激光器射出的大口径光束分成两路,为第一光束和第二光束,分别用于光束稳定性测量和光斑形貌采集;光束稳定性监测模块:该模块包括依次设于分光镜之后...
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