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半导体结构的形成方法技术
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文档序号:40560395
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本公开提供了一种半导体结构的形成方法,涉及半导体技术领域。该形成方法包括:提供衬底,衬底具有相对的第一面和第二面,在衬底上形成沿第一方向间隔分布的多个字线结构,各字线结构的第一源漏极、栅极结构和第二源漏极沿第一面指向第二面依次分布,且第一面...
该专利属于长鑫科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫科技集团股份有限公司授权不得商用。
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