下载一种双层钝化保护结构二极管的制备方法的技术资料

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本发明公开了一种双层钝化保护结构二极管的制备方法,包括以下步骤:步骤1:扩散;步骤2:沟槽腐蚀;步骤3:第一钝化保护结构成膜;步骤4:第二钝化保护结构成膜;步骤5:电极区去膜;步骤6:电极区金属化;该方法可制备出满足标准参数的双层钝化保护结...
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