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半导体存储装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:40557374
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本发明的实施方式涉及一种半导体存储装置及其制造方法。根据一实施方式,半导体存储装置具备:下方电极层;下方绝缘膜,设置在所述下方电极层的第1方向侧;上方电极层,设置在所述下方绝缘膜的所述第1方向侧;上方绝缘膜,设置在所述上方电极层的所述第1方...
该专利属于铠侠股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过铠侠股份有限公司授权不得商用。
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