下载一种晶圆级多层电感封装结构以及相应的制备方法的技术资料

文档序号:40554442

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本发明涉及半导体封装技术领域,提供了一种晶圆级多层电感封装结构及封装方法,所述第一电感封装子结构和第二电感封装子结构先分别形成,然后通过混合键合相贴合。由于第一电感封装子结构和第二电感封装子结构分开形成,第一电感封装子结构中的第一电感结构和...
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