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本申请公开了一种用于检测片状基板的AOI设备，涉及视觉检测技术领域，包括基座，基座设置有视觉检测装置；基座设置有支撑台、固定台和用于将基板由支撑台移动至固定台的传动装置，视觉检测装置用于检测位于支撑台的基板；基座设置有控制装置和激光刻蚀装置...
该专利属于苏州创信维自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州创信维自动化设备有限公司授权不得商用。

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