下载键合设备和键合设备的控制方法的技术资料

文档序号:40553868

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本发明公开了一种键合设备和键合设备的控制方法,键合设备包括:工作台;载板,载板可拆卸地设置于工作台且用于设置芯片;压爪组件,压爪组件设置于工作台且在打开位置、调节位置和闭合位置之间可升降,当压爪组件处于调节位置时,压爪组件间隔设置在载板上方...
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