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本技术的各种实施例可以提供用于反应室的系统和设备。该系统和设备可以包含反应室，该反应室具有设置在反应室的下室和喷淋头之间的间隔件板。主动加热元件可以嵌入间隔件板内。邻近间隔件板设置的流量控制环通过来自间隔件板加热元件的传导被加热。...
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