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本发明的反射型掩模坯料包括：基板10；设置在所述基板10的一个面上且至少反射EUV光的多层反射膜20；以及设置在所述基板10的另一个面上的背面导电膜30。所述背面导电膜30具有：膜厚为50nm以上且小于80nm、且含有钽(Ta)、硅(Si)...
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