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本发明涉及一种废气处理设备，包含：清洗箱，用于存储清洗液以及接收废气，其上设置有第一入口和第一出口；泵，其输入端与所述清洗箱的第一出口连接，用于将清洗箱内的清洗液泵出；混合部件，其输入端具有两个接口，其中第一接口连接废气，第二接口与所述泵的...
该专利属于浙江亚笙半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江亚笙半导体设备有限公司授权不得商用。

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