下载半导体装置和半导体装置的制造方法的技术资料

文档序号:40551876

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本发明公开了一种半导体装置和半导体装置的制造方法,半导体装置包括:基体;第一导电类型的漂移层;第二导电类型的体层,体层设置于漂移层朝向第一主面的一侧;沟槽,沟槽从第一主面朝向第一方向延伸,沟槽为多个,多个沟槽在第二方向上间隔设置,多个沟槽包...
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