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本发明提供了一种抽气组件、一种薄膜沉积设备及方法，以及一种计算机可读存储介质。所述抽气组件包括下抽气环及上抽气环。所述下抽气环位于工艺腔室的下方，其下设有抽气孔，以经由沿所述下抽气环周向设置的多个第一过气孔进行环状抽气。所述上抽气环位于所述...
该专利属于拓荆科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技(上海)有限公司授权不得商用。

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