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传感器构件及物理量传感器制造技术
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下载传感器构件及物理量传感器的技术资料
文档序号:40551459
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本发明提供一种可以适当地防止水分等经由电极和保护膜之间的界面侵入的问题的传感器构件。传感器构件具有:被保护部,其设置于金属基材的一个面,具有检测部;保护膜,其具有:第1保护膜部分,其具有第1厚度;以及第2保护膜部分,其具有比所述第1厚度更厚...
该专利属于TDK株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过TDK株式会社授权不得商用。
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