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本发明公开了一种鳍型电子空穴双层隧穿场效应晶体管及制备方法，包括：第一铁电层、第二铁电层、第一隧穿栅、第二隧穿栅、控制栅、第一介质层、第二介质层、源极、源区、第一沟道区、阻挡层、第二沟道区、漏区、漏极、鳍型沟道区。本发明在隧穿栅内侧加入了铁...
该专利属于兰州交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过兰州交通大学授权不得商用。

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