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公开了一种光学干涉滤光器，包括一个或多个层集合。每个层集合包括第一层、第二层和第三层，该第一层至少包括铝和氮(例如，氮化铝(AlN)材料)，该第二层至少包括硅和氧(例如，二氧化硅(SiO<subgt;2</subgt;)材料)，...
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