下载一种双极型晶体管的制作方法的技术资料

文档序号:4054874

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本发明提出一种双极型晶体管的制作方法,包括以下步骤:制作集电区;在所述集电区上制作基区;在所述基区上制作发射区;以所述发射区为掩膜,对所述基区进行第一次离子注入,并进行扩散工艺,在所述基区内形成第一掺杂区;所述制作方法还包括:以所述发射区为...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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