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本发明涉及晶圆生产技术领域，并提供了一种晶圆圆心校正方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：读取数据；数据预处理；滤波；获得圆心和初始notch角度；旋转notch到任意角度到生产端；用简便的算法配合线性传感器计算出晶圆的中心，便于生产过程...
该专利属于深圳市轴心自控技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市轴心自控技术有限公司授权不得商用。

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