下载半导体元件及其制备方法的技术资料

文档序号:40547209

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本申请公开一种半导体元件及其制备方法,该半导体元件包括:一基底;一字元线结构,设置于该基底中;多个杂质区域,设置于该基底中并邻近该字元线结构;多个底部浅插塞,设置于该字元线结构上;一第一内连接层,设置于该些底部浅插塞上;多个顶部浅插塞,设置...
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