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半导体结构及制备方法技术
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文档序号:40546986
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本公开实施例涉及半导体领域,提供一种半导体结构及制备方法,制备方法包括:提供基底,基底包括第一型区以及第二型区;第一型区的基底上具有第一绝缘层以及初始第一栅结构,第二型区的基底上具有第二绝缘层与初始第二栅结构;多次同时刻蚀初始第一栅结构以及...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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