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本发明公开了一种薄膜厚度及均匀性在线检测装置及方法，属于光学测量技术领域，设计了一种薄膜厚度及均匀性在线检测装置，在干涉技术的基础上引入彩色共焦显微技术，满足不同厚度薄膜厚度及均匀性的在线检测需求；并提出了一种薄膜厚度及均匀性在线检测方法，...
该专利属于东北电力大学所有，仅供学习研究参考，未经过东北电力大学授权不得商用。

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