一种薄膜厚度及均匀性在线检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种薄膜厚度及均匀性在线检测装置及方法，属于光学测量技术领域，设计了一种薄膜厚度及均匀性在线检测装置，在干涉技术的基础上引入彩色共焦显微技术，满足不同厚度薄膜厚度及均匀性的在线检测需求；并提出了一种薄膜厚度及均匀性在线检测方法，通过引入激光光源和等离子体宽带光源，以及数字微镜器件、色散棱镜和两个面阵光电探测器实现两种在线检测模式；本发明专利技术采用激光干涉测量模式和彩色共焦显微测量模式的结合，形成了适合不同厚度薄膜厚度及均匀性的在线光学检测技术，为薄膜厚度及均匀性的光学在线检测提供了一种新的有力工具。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学测量，具体涉及一种薄膜厚度及均匀性在线检测装置及方法。

技术介绍

1、近几十年来，薄膜技术发展迅猛，在理论计算、设计测量和工艺各方面均已形成了完整的体系，利用光学薄膜可以改善光学元件的品质，几乎所有的光学元件和系统都离不开光学薄膜的应用。由于光学薄膜的重要性不断上升，检测薄膜的各项技术也随之迅速发展。薄膜的测量包括光学、机械、电学性能测量以及微观测量，其中光学性能的测量包括宏观测量、厚度测量和折射率测量。薄膜厚度是否均匀一致是检测薄膜各项性能的基础。单层薄膜厚度不均匀不但会影响到薄膜各处的拉伸强度、阻隔性等，更会影响薄膜的后续加工。对于复合薄膜厚度的均匀性更加重要，只有整体厚度均匀，每一层树脂的厚度才可能均匀。因此，薄膜厚度是否均匀，是否与预设值一致，厚度偏差是否在指定的范围内，这些都成为薄膜是否能够具有某些特性指标的前提。因此薄膜厚度及其均匀性测量是薄膜制造业的基础检测项目之一。

2、目前，对于薄膜厚度的测量有很多接触式和非接触式的测量方法，对于高精度的光学薄膜，采用接触式测量容易划伤表面。非接触式测量具有代表性的有椭圆偏振本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种薄膜厚度及均匀性在线检测装置，其特征在于：包括激光器，所述激光器用于产生激光光束；沿所述激光光束传播的路径上依次配置有A分光棱镜和待测薄膜样品；所述A分光棱镜的反射路径上配置有A标准平面反射镜和B分光棱镜；所述A标准平面反射镜和所述B分光棱镜分别配置于所述A分光棱镜的两侧；所述B分光棱镜的反射路径上配置有成像镜头；所述成像镜头后方配置有用于接收干涉图光强信息的A面阵光电探测器，所述A面阵光电探测器将接收到的所述干涉图光强信息传送至计算机中。

2.根据权利要求1所述的薄膜厚度及均匀性在线检测装置，其特征在于：所述A标准平面反射镜的后方配置有用于调整A标准平面反射镜位置的...

【技术特征摘要】

1.一种薄膜厚度及均匀性在线检测装置，其特征在于：包括激光器，所述激光器用于产生激光光束；沿所述激光光束传播的路径上依次配置有a分光棱镜和待测薄膜样品；所述a分光棱镜的反射路径上配置有a标准平面反射镜和b分光棱镜；所述a标准平面反射镜和所述b分光棱镜分别配置于所述a分光棱镜的两侧；所述b分光棱镜的反射路径上配置有成像镜头；所述成像镜头后方配置有用于接收干涉图光强信息的a面阵光电探测器，所述a面阵光电探测器将接收到的所述干涉图光强信息传送至计算机中。

2.根据权利要求1所述的薄膜厚度及均匀性在线检测装置，其特征在于：所述a标准平面反射镜的后方配置有用于调整a标准平面反射镜位置的a压电陶瓷。

3.根据权利要求1所述的薄膜厚度及均匀性在线检测装置，其特征在于：所述待测薄膜样品为待测小厚度薄膜。

4.根据权利要求1所述的薄膜厚度及均匀性在线检测装置，其特征在于：所述待测薄膜样品的位置处放置b标准平面反射镜或者待测大厚度薄膜；所述b标准平面反射镜后方配置有移动b标准平面反射镜的b压电陶瓷。

5.根据权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张宇，
申请(专利权)人：东北电力大学，
类型：发明
国别省市：