下载一种248nm正型光刻胶及其制备方法的技术资料

文档序号:40545908

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本申请涉及光刻胶技术领域,具体公开了一种248nm正型光刻胶及其制备方法。一种248nm正型光刻胶,包括以下重量份的原料:成膜树脂20‑30份,光酸发生剂0.4‑0.8份,有机碱0.03‑0.05份,表面活性剂0.03‑0.05份,溶剂60...
该专利属于瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司授权不得商用。

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