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本发明涉及一种双旋转补偿器的光学关键尺寸量测设备的匹配方法，包括：提供多个二维和三维结构的样品；为每个样品建立光学关键尺寸数据库；将第二基准晶圆的全波段光谱信号代入光学关键尺寸数据库进行验证并经过插值计算得到相应的关键尺寸，以作为匹配机台的...
该专利属于上海诺睿科半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海诺睿科半导体设备有限公司授权不得商用。

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