温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种功率器件及其制作方法，该方法包括以下步骤：提供一包括元胞区及终端区的半导体层；形成遮蔽层于半导体层上并图形化以形成多个离子注入窗口，多个离子注入窗口位于终端区并包括一第一注入窗口及多个分立设置的第二注入窗口，第一注入窗口位于元...
该专利属于无锡华润华晶微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润华晶微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。