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本发明提供一种用于晶圆表面清洗的管‑管型阵列式DBD等离子体清洗方法与装置，特别涉及在大气压下放电而产生等离子体并将其通过气流将其传至晶圆表面，属于等离子体清洗技术领域。采用多管高低压电极交错排布结构，等离子体在相邻两个管高低压电极之间产生...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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