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文档序号:40541033
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本公开实施例提供一种图案化方法,涉及半导体技术领域,用于解决图案化精准度差的技术问题,该图案化方法包括提供具有第一区域和第二区域的目标层,其中,位于第一区域的目标层上具有多个第一芯轴结构,位于第二区域的目标层上具有多个第二芯轴结构,第一芯轴...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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