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本发明提供了一种薄膜沉积方法、装置及存储介质。所述薄膜沉积方法包括以下步骤：确定一次薄膜沉积反应的窗口时长；基于薄膜厚度均一性的目标值及所述窗口时长，进行所述反应源在所述窗口时长内的时长占比实验，以确定所述反应源在所述窗口时长内的目标时长占...
该专利属于拓荆科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技(上海)有限公司授权不得商用。

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