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本技术公开了一种用于晶圆质子辐照的多峰场负氢离子源氢气进气结构包括：氢气进气管道，设计多组，与离子源本体连接；环形氢气分配管道，与氢气进气管道连通，由密封法兰一和密封法兰二接触形成的腔室组成。本技术通过多个均匀布置的氢气进气管道给离子源提供...
该专利属于国电投核力创芯（无锡）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国电投核力创芯（无锡）科技有限公司授权不得商用。

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