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本公开内容涉及一种用于测量物体(1)的表面(2，4)或轮廓的干涉测量装置(10)，测量装置(10)包括：‑光束生成单元(20)，能操作为生成具有波长小于550nm的频谱分量的测量光束(BM)，‑分束器(55)，用于从测量光束(BM)分出物体...
该专利属于泰勒·霍布森有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泰勒·霍布森有限公司授权不得商用。

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