温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明一种ESCAP型正性光刻胶，其特征在于：所述正性光刻胶包含(A)聚合物树脂、(B)光酸、(C)溶解促进剂、(D)猝灭剂、(E)流平剂和(F)溶剂；所述(A)聚合物树脂，包含以下两种重复单元：所述R<subgt;A1</su...
该专利属于徐州博康信息化学品有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州博康信息化学品有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。