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本发明涉及一种用于氢化物气相外延生长氮化铝的铝舟及使用方法，内筒包括上铝凹槽和下铝凹槽，上铝凹槽和下铝凹槽的底部为网状，下铝凹槽设置在石英筒内底部，在下铝凹槽顶端叠放上铝凹槽；在上铝凹槽和石英顶盖之间设置环形隔板；在上铝凹槽下方和下铝凹槽上...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十六研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十六研究所授权不得商用。

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