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一种驰豫铁电单晶电极及其制备方法技术
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文档序号:40533233
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本申请提供了一种驰豫铁电单晶电极及其制备方法,其制备方法包括配置磨料水溶液,对驰豫铁电单晶晶片进行喷砂处理,得到喷砂处理后的驰豫铁电单晶晶片;采用离子溅射法,在真空度为1×10<supgt;‑1</supgt;‑1×10<...
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