一种驰豫铁电单晶电极及其制备方法技术

本申请提供了一种驰豫铁电单晶电极及其制备方法，其制备方法包括配置磨料水溶液，对驰豫铁电单晶晶片进行喷砂处理，得到喷砂处理后的驰豫铁电单晶晶片；采用离子溅射法，在真空度为1×10<supgt;‑1</supgt;‑1×10<supgt;‑2</supgt;Pa、保护气体环境中，在所述喷砂处理后的驰豫铁电单晶晶片上溅射过渡金属，制备过渡金属层；采用离子溅射法，在真空度为1×10<supgt;‑1</supgt;‑1×10<supgt;‑2</supgt;Pa、保护气体环境中，在所述过渡金属层上溅射贵金属，制备贵金属层，获得所述驰豫铁电单晶电极。本申请提供的驰豫铁电单晶电极，解决了驰豫铁电单晶电极中贵金属层和驰豫铁电单晶晶片之间界面结合强度不高，贵金属层易剥落的问题。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及压电材料，特别是涉及一种驰豫铁电单晶电极及其制备方法。

技术介绍

1、弛豫铁电单晶是近二十年新发展的性能最为优异的压电材料。其典型代表为铌镁酸铅-钛酸铅(pmn-pt)和铌铟酸铅-铌镁酸铅-钛酸铅(pin-pmn-pt)。其压电常数d33达到1200-2000pc/n，是锆钛酸铅(pzt)压电陶瓷的4-5倍，并且具有超大的机电耦合系数。以弛豫铁电单晶为材料的压电元件在医学超声成像、水声系统、高应变执行器等众多领域均具有卓越的压电性能。驰豫铁电单晶压电元件即将驰豫铁电单晶晶片加工成需要的尺寸、形状后，在晶体表面镀一定厚度的贵金属层，一般为贵金属金、银。驰豫铁电单晶压电元件除了要具有性能均匀良好的晶体材料以外，晶体表面的镀金属层同样影响其使用性能。

2、驰豫铁电单晶作为压电元件应用时要在表面制备金、银等贵金属层作为电极。贵金属层一般通过离子溅射或者磁控溅射设备在单晶表面溅镀制备。由于驰豫铁电单晶元件在使用时还要经过二次切割加工、焊接接线等，极易发生贵金属层剥落的问题，导致压电元件失效，因此对贵金属层和晶体之间的敷接质量提出了较高要求。目前本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种驰豫铁电单晶电极的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述喷砂处理包括：喷砂压力为0.05-0.3Mpa，喷砂角度为45°-90°，喷砂时间为30-120s。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述配置磨料水溶液包括：

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述喷砂处理后的驰豫铁电单晶晶片表面粗糙度Ra为100-500nm。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述驰豫铁电单晶晶片的材料选自铌镁酸铅-钛酸铅或铌铟酸铅-铌镁酸铅-钛酸铅；所述驰豫...

【技术特征摘要】

1.一种驰豫铁电单晶电极的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述喷砂处理包括：喷砂压力为0.05-0.3mpa，喷砂角度为45°-90°，喷砂时间为30-120s。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述配置磨料水溶液包括：

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述喷砂处理后的驰豫铁电单晶晶片表面粗糙度ra为100-500nm。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述驰豫铁电单晶晶片的材料选自铌镁酸铅-钛酸铅或铌铟酸铅-铌镁酸铅-钛酸铅；所述驰豫铁电单晶晶片的厚度为0.5-4mm...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑彧，李辉，童亚琦，张微，王震，
申请(专利权)人：中材人工晶体研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：