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多弧离子镀膜用弧源机构及其冷却方法技术
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文档序号:40533193
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本发明涉及一种多弧离子镀膜用弧源机构及其冷却方法,通过集水储存、喷淋循环、快速电冷却以及水冷风冷复合散热的方式,实现了对弧源的高效智能冷却。该弧源机构包含弧源组件、集水机构、循环喷淋机构、冷却机构、散热机构、水冷机构及温控机构。集水机构对冷...
该专利属于金华星源五金制品有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过金华星源五金制品有限公司授权不得商用。
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