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本技术提供了一种镀膜设备的载板清洁装置。本技术提供的载板清洁装置包括吹扫组件、平移导轨、第一驱动机构、升降导轨、第二驱动机构吸嘴以及集尘室,所述吹扫组件能够对载板上的粉尘等杂质进行吹扫,所述平移导轨和所述第一驱动机构能够使所述吹扫组件水平运...该专利属于通威太阳能(安徽)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威太阳能(安徽)有限公司授权不得商用。
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