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一种微纳芯片巨量转印方法技术
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下载一种微纳芯片巨量转印方法的技术资料
文档序号:40528572
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本发明公开了一种微纳芯片巨量转印方法,包括如下步骤:(1)将载料衬底上的芯片嵌入固态水凝胶并冷冻,(2)将冷冻后带有芯片的固态水凝胶按压在目标衬底表面,并使固态水凝胶与目标衬底一起泡水;(3)剥离溶胀的水凝胶,烘干目标衬底和芯片。本发明的有...
该专利属于绍兴圆炬科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过绍兴圆炬科技有限公司授权不得商用。
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