温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供一种金刚石窗运行状态的在线监测装置，其适用于具有金刚石窗的真空管路，其包括与真空腔室连接的充气系统和抽气系统、以及部分设于真空腔室上且部分设于第一金刚石窗和第二金刚石窗的远离真空腔室的一侧的检测系统；所述检测系统设置为监测真空腔室...
该专利属于中国科学院上海高等研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海高等研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。