【技术实现步骤摘要】
本技术涉及同步辐射光束线领域，具体涉及一种同步辐射光束线中金刚石窗运行状态的在线监测装置。
技术介绍
1、被加速至接近光速的电子束团经过弯铁磁场或者插入件磁场时会产生同步辐射光。经光束线传输至实验站过程中，同步辐射光需要根据需求经过单色器、光阑等进行单色化和约束发散角以及光斑尺寸等处理。在此过程中，单色器晶体及光阑等元件不可避免的会吸收同步辐射光并沉积相应的热量。
2、由于光束线传输环境为高真空以至超高真空，无法利用气体对流传热冷却。因此各种同步辐射光照元件均需要采用液态循环水或循环液氮进行冷却，避免热量沉积造成变形等热损伤。在部分光束能量较高场合，同时还需要在脆弱的光学元件上游设置多级水冷金刚石窗，对高能光束保持较高透过率基础上吸收过滤低能光束，承载光束线大部分热负载以尽量保护下游光学元件。
3、金刚石窗通常为毫米量级厚度sic薄片，光路切换和调整的使用过程中，较大热负载反复作用下，有可能出现碎裂和破损，使得下游光学元件承受热负载超过设计阈值，导致不可逆损伤。因此需要部署相应监测装置对金刚石窗运行状态进行实时在
【技术保护点】
1.一种金刚石窗运行状态的在线监测装置，其适用于具有金刚石窗的真空管路，金刚石窗至少包括第一金刚石窗和第二金刚石窗，第一金刚石窗和第二金刚石窗之间的空间为真空腔室，其特征在于，包括与真空腔室连接的充气系统和抽气系统、以及部分设于真空腔室上且部分设于第一金刚石窗和第二金刚石窗的远离真空腔室的一侧的检测系统；所述检测系统设置为监测真空腔室内的氦气压强以及第一金刚石窗和第二金刚石窗的远离真空腔室的一侧的氦气分压，以判断第一金刚石窗和第二金刚石窗是否发生泄漏。
2.根据权利要求1所述的金刚石窗运行状态的在线监测装置，其特征在于，所述充气系统包括通过充气气路依次连接...
【技术特征摘要】
1.一种金刚石窗运行状态的在线监测装置，其适用于具有金刚石窗的真空管路，金刚石窗至少包括第一金刚石窗和第二金刚石窗，第一金刚石窗和第二金刚石窗之间的空间为真空腔室，其特征在于，包括与真空腔室连接的充气系统和抽气系统、以及部分设于真空腔室上且部分设于第一金刚石窗和第二金刚石窗的远离真空腔室的一侧的检测系统；所述检测系统设置为监测真空腔室内的氦气压强以及第一金刚石窗和第二金刚石窗的远离真空腔室的一侧的氦气分压，以判断第一金刚石窗和第二金刚石窗是否发生泄漏。
2.根据权利要求1所述的金刚石窗运行状态的在线监测装置，其特征在于，所述充气系统包括通过充气气路依次连接的氦气瓶、减压阀、质量流量控制器和第一电磁阀，并且所述第一电磁阀与所述真空腔室连接。
3.根据权利要求2所述的金刚石窗运行状态的在线监测装置，其特征在于，所述抽气系统包括通过抽气气路依次连接的蝶阀、插板阀、分子泵、皮拉尼规、电磁阀和涡旋干泵，所述蝶阀与所述真空腔室连接。
4.根据权利要求3所述的金刚石窗运行状态的在线监测装置，其特征在于，所述皮拉尼规设置为监测分子泵前级压强，在前级压强超压时向电磁阀提供使电磁阀切断抽气气路的联锁信号。
5.根据权利要求3所述的金刚石窗运行状态的在线监测装置，其特征在于，所述蝶阀与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王进伟，吴帅，刘俊男，祝万钱，
申请(专利权)人：中国科学院上海高等研究院，
类型：新型
国别省市：
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