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本申请实施例涉及半导体加工技术领域，公开了一种半导体加工设备及半导体加工设备。其中的半导体加工设备，包括进气管道、喷气件、抽气件及抽气管道；进气管道的一端位于反应腔室外、用于连接惰性气体气源，进气管道的另一端用于伸入反应腔室；喷气件具有与进...
该专利属于上海邦芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海邦芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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