下载激光器及其制作方法的技术资料

文档序号:40525603

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本发明涉及一种激光器制作方法,包括如下步骤:S1,制备外延结构,S2,在所述外延结构上制作光栅,并将光栅表面凹槽填平,S3,于所述光栅表面生长含铝晶态材料层,S4,生长完毕后将具有含铝晶态材料层的外延结构暴露于含氧环境中进行氧化,使得所述含...
该专利属于武汉云岭光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉云岭光电股份有限公司授权不得商用。

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