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一种高频驱动的微小型液体压电泵制造技术
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文档序号:40525356
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本发明属于压电泵领域,具体涉及到一种高频驱动的微小型液体压电泵。包括:泵体、第一压电振子、进口阀、出口阀;所述第一压电振子的圆周外缘与泵体固定连接;所述泵体内部设置有液体腔;所述液体腔配套设置有进口阀和出口阀;所述进口阀和出口阀分别与泵体连...
该专利属于浙江师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江师范大学授权不得商用。
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