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用于自动视觉缺陷检查之后的电子裸片覆墨的系统和方法技术方案
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下载用于自动视觉缺陷检查之后的电子裸片覆墨的系统和方法的技术资料
文档序号:40525020
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本申请题为“用于自动视觉缺陷检查之后的电子裸片覆墨的系统和方法”。在提供半导体器件的方法(1000A)和具有用于执行该方法的指令的计算机可读介质中,该方法(1000A)包括接收(1005)第一晶圆缺陷图,其定义比较区域并标识晶圆的视觉缺陷位...
该专利属于德克萨斯仪器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过德克萨斯仪器股份有限公司授权不得商用。
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