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本技术提供了一种用于在晶圆表面沉积薄膜的炉管，包括导气件、管体和挡板；挡板设于管体内，挡板靠近管体的顶部并与管体的顶部之间具有间距形成气体缓存腔，所述挡板与所述管体的底部之间形成反应腔，并且所述挡板沿其周向间隔的设有若干出气孔，若干所述出气...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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