下载一种Ta-DLC复合涂层材料及其制备方法的技术资料

文档序号:40520799

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本发明公开了一种兼具优异摩擦学性能和生物相容性的Ta‑DLC复合涂层材料及其制备方法,按原子百分数计,在DLC涂层中包含元素Ta 7‑28at.%、C 72‑93at.%,采用非平衡磁控溅射技术,通过同时溅射石墨靶和Ta靶在基底表面沉积Ta...
该专利属于上海理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海理工大学授权不得商用。

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