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MEMS光偏转器和光扫描装置制造方法及图纸
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文档序号:40517879
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本发明的光扫描装置具备:反射镜部;扭杆(112a),其沿着共振轴延伸;环状形状体,其从共振轴的两侧与扭杆(112a)结合而使反射镜部转动;以及交叉部压电元件(45)和/或结合部压电元件(46a、46b),其形成于包括扭杆(112a)与环状形...
该专利属于斯坦雷电气株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过斯坦雷电气株式会社授权不得商用。
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