下载溶铜装置及导电金属薄膜生产设备的技术资料

文档序号:40517556

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本发明公开了一种溶铜装置及导电金属薄膜生产设备。溶铜装置包括溶铜罐、过滤板、反射罩、扩散管以及泵液组件。所述溶铜罐设置有反应腔,所述反应腔的顶部设置有回流口;所述过滤板设置于所述反应腔并将所述反应腔分隔为上腔室和下腔室;所述反射罩包括凹弧部...
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