下载一种用于获取坩埚内硅液与炉台相对位置的方法及系统的技术资料

文档序号:40512534

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本发明公开了一种用于获取坩埚内硅液与炉台相对位置的方法及系统,包括以下步骤:将核定重量的硅料加入坩埚后,通过炉台工控机获取硅料的总剩料量;根据硅料的总剩料量,得到硅液在坩埚R角上方的高度;根据硅液在坩埚R角上方的高度,得到加完核定重量的硅料...
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