下载可完全消除衬底辅助耗尽效应的SOI超结LDMOS结构的技术资料

文档序号:4050981

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本发明公开了一种可完全消除衬底辅助耗尽效应的SOI超结LDMOS结构,该结构包括底层硅膜,导电层,埋氧层,有源区,沟槽隔离结构,电极;底层硅膜位于该结构的最底层;导电层位于底层硅膜的上表面,包括电荷引导层和生长于电荷引导层的上、下表面的阻挡...
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