下载一种整合电容器的MOSFET及制备方法的技术资料

文档序号:40503281

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本发明公开了一种整合电容器的MOSFET及制备方法,该MOSFET包括外延层和集成电容器,所述外延层开设有第一沟槽,所述集成电容器嵌入所述第一沟槽中。本发明通过将电容器集成到传统的沟槽MOSFET的外延层上,不需要进行PCB铜箔连接,减少了...
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