温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种晶圆后处理，其包括：箱体；夹持组件，设置于箱体中，其包括夹持盘，用于夹持并带动晶圆旋转；防护组件，设置于夹持组件的外周侧，其包括旋转罩和固定罩；所述旋转罩连接于夹持盘的外沿，两者的连接处配置有旋转罩排液口；所述固定罩连接于箱...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。